DM-2004微波等离子体装置技术特性

dm-2004微波等离子体装置技术特性
技术参数及特性
1. 反应室工作压强:几百帕~十千帕
2. 反应室极限压强: 6×10-1帕
3. 反应室尺寸: φ50mm
4. 微波功率: 0~500w
5. 基片温控: 200~1000℃
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