日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵技术资料
日本ulvac dis-251渦旋干式真空泵一、特性
•双绕式涡旋泵，含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
日本ulvac dis-251渦旋干式真空泵二、应用
•分析设备
•气体回收系统
•涂料设备
•tmp前级泵
•氦渗漏探测器
•半导体制造工艺
日本ulvac dis-251渦旋干式真空泵三、规格参数
单位
50hz
60hz
实际抽速
l/min
250
300
极限压力
pa
1.6
马达
单相
100/115/200/230v,400w,4p,电容启动运行
三相
200/208/230/380/400/415/460v,400w,4p
满载电流
单相
a
4.8/2.6/2.4
(100/200/230v)
4.8/4.3/2.8/2.4
(100/115/200/230v)
三相
1.6/0.9/0.9/1.0
(200/380/400/415v)
1.9/1.9/1.8/1.0
(200/208/230/460v)
重量
单相
kg
25.0
三相
23.0
进出气管道直径
进气管kf-25 出气管kf-16
四、外形图
五、泵数曲线
六、对应电压与认证
电压
现行电压
ce认证
csa认证
单相,100v,200-230v
115v(60hz)
标准
三相,200,380v,400v,415v(50hz)
200v,208v,230v,460v(60hz)
标准
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