图说光栅式测微仪的应用

光栅式测微仪也称光栅测微仪、光栅长度计或光电测长仪,是以光栅副作为测量元件,将线位移量转换为光电信号,经电路处理并以数字显示位移量的一种长度精密测量仪器(摘自jjf 1682-2017)。
光栅式测微仪是一种接触式精密传感器,今天小编以半导体制造工程、汽车制造工程为例,“图说”光栅式测微仪的测量应用和测量原理。
应用之
半导体制造工程
半导体制造工程示意图
点击查看大图
01
辊缝检测
02
基板厚度的检测
03
芯片平行度的检测
04
fpd基板的多点检测
05
测量压接端子的铆合高度
06
复印机部品的平行度检测
应用之
汽车制造工程
汽车生产线示意图/点击查看大图
01
汽车凸轮轴的位移量测量
02
汽车刹车盘的多点测量
03
平面度的测量
04
高度的测量
05
跳动的测量
06
加工刀具长度的测量

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