扫描电子显微镜的五大组成系统介绍
扫描电子显微镜（scanning electron microscope，sem）,简称扫描电镜，是功能强、用途广的材料表征工具，已广泛应用于材料，冶金，矿物，生物学等领域。扫描电子显微镜主要由五大系统组成，即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、样品室、真空系统、电源供给系统。
1 电子光学系统
由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
2 信号收集及显示系统
检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器，它由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成。
3 样品室
主要部件是样品台。它能夹持一定尺寸的样品，并能使样品进行三维空间的移动，还能倾斜和转动,以利于对样品上每一特定位置进行各种分析。
4 真空系统
真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作，防止样品污染，一般情况下要求保持10-4~10-5torr的真空度。
5 电源系统
电源系统由稳压，稳流及相应的安全保护电路所组成，其作用是提供扫描电镜各部分所需的电源。
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