EZ4高精密匀胶机

产品介绍:
名 称:高精密匀胶机
型 号:ez4
原产地:美国,usa
应 用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
产品概述:
ez4高精密匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,文本显示器人机界面。
ez4高精密匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作。ez4采用全阳极氧化铝面板外壳,pp材料内腔,经久耐用。
ez4高精密匀胶机性能参数:
l支持wafer尺寸:碎片(小于1cm)至100mm(4圆晶)
l速度可调范围:100-10000rpm
l加速度可调范围:100-10000rpm/s
l转速分辨率:1rpm
l转速精度:<±5rpm
l可编程5组5步程序
l宽电压输入:ac100-230v
产品特点:
l75w直流无刷电机,单片机控制
l高清晰文本显示器
l可单步和多步匀胶操作
lpp耐腐蚀内腔,可更换
l铝合金阳极氧化外壳,美观大方
l耐溶剂pc透明盖
l多角度定位铰链设计
lhdpe真空吸盘
产品外型尺寸:
 250mm(d)*210mm(w)*200mm(h)

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