特征红外板厚度监视器测量半透明板的厚度,如电池隔板、低反射涂层(如黑色保护层)和硅。它
可用于从实验室水平到生产中在线100%检测的所有应用。红外吸收系统由一个带有透射光
学系统的紧凑型镜面探头组成,可在100多个波长下同时测量多种参数,如薄膜厚度、密度
和成分。
1
测量半透明板、低反射膜、硅等的厚度。这对于光学干涉测量来说是很困难的
2
紧凑型探针通过采用小型30 mm反射式探头,可以安装在设备或生产线中的狭小空间内。此外,由于探头仅通过光纤电缆连接到主体,因此它具有优异的耐环境性。
3
高速测量从950纳米到1650纳米的近红外波长在100个点或更多点的同步采样
4
厚度测量再现性小于等于0.1%(3σ)
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测量算法算法校准样品参数数量
兰伯特-啤酒定律 1 厚度
最小二乘回归方法 2或更多 多参数(厚度、密度、复合比率等)
关键词:监视器 电池
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