MC方案｜RIE / ICP干法蚀刻工艺案例
icp / rie蚀刻应用范围：
- si，sio2，sin蚀刻工艺
- al，cr，ti，tiw，au，mo等金属蚀刻工艺
- 晶圆尺寸：一片，4英寸，6英寸晶圆
rie 等离子刻蚀案例：
sio2 / sin蚀刻
80 sccm cf4，均匀性<5％，在6英寸晶圆上
几种功率水平下的压力与蚀刻速率（如下图）：
plasmastar®系列等离子处理系统适合处理所有的材料，拥有模块化腔室和电极配置，可满足不同的等离子工艺和基片尺寸。占地面积小，触摸屏计算机控制，多级程序控制和组件控制，操作简单。用于研究、工艺开发和批量生产，可轻松集成到自动化生产线和系统中。
腔室/电极
plasmastar®模块化腔室和电极组件是该系统的*功能。腔室材料是硬质阳极氧化铝，耐腐蚀。有几种不同的电极设计，包括用于反应离子刻蚀（rie）和平面处理的水冷平板电极，用于表面清洗或处理的交替托盘电极，用于小化离子损伤的下游电极，和用于普通的圆柱形等离子体处理的笼式电极。
标配圆柱形“桶”式电极
用于光刻胶剥离和各向同性刻蚀
rie电极（可选配）
用于各向异性蚀刻的水冷电极
隔板电极（可选配）
用于各向同性蚀刻，标配2块电极
等离子体源
该系统可选配lf（khz）或13.56（mhz）射频电源以及自动匹配网络。
真空泵系统
该系统配机械泵或带罗茨鼓风机的机械泵。根据所需的真空处理水平，可提供不同尺寸大小的真空泵。真空泵配有腐蚀性泵油（惰性泵油），适用于氧气或其他腐蚀性化学应用。流量控制器（mfc）的气体管路是标配。下游压力控制器是选配。
电脑控制
触摸屏电脑控制，提供无线程序存储，多步骤工艺简单易存，易于编程，实时显示工艺条件。工艺处理可用条形码读取（选配）。
其中较典型的等离子处理工艺包括：
▪ 等离子预处理
▪ 光刻胶去胶
▪ 表面处理
▪ 各向异性和各向同性蚀刻
▪ 故障分析应用
▪ 材料改性
▪ 封装清洗
▪ 钝化层刻蚀
▪ 聚酰胺刻蚀
▪ 促进粘合
▪ 生物医学应用
▪ 聚合反应
▪ 混合清洗
▪ 预键合清洗
LYZGS高精度直流高压发生器面向原先老客户免费升级
遵义大曲酱香型白酒 - 酒精度和酸酯总量的測定
BOD快速测定仪测量迅速
自吸排污泵常见故障排除方法
风琴式防护罩的设计参数
MC方案｜RIE / ICP干法蚀刻工艺案例
高温锅炉机房管道保温工程施工队
行星减速机机油封有什么作用
意大利康茂盛CAMOZZI小型机控阀（柱轴式）
真空干燥箱的安装与调试
DX40-160L低温试验箱使用说明
LYZGS全自动直流发生器现场使用很便捷
电子感应网红门是什么,电子感应网红门简介
美国DYTRAN压力传感器系列产品有哪些
PQ340偏心半球阀的设计
膜分离法是镀金废水回收处理的主要方向
织物起球仪有几种类型
如何正确定期更换恩平自动喷码机过滤器
德国ESSER安舍809041.01控制单元应用于消防系统
废气喷淋塔工作原理及填料选用
- si，sio2，sin蚀刻工艺
- al，cr，ti，tiw，au，mo等金属蚀刻工艺
- 晶圆尺寸：一片，4英寸，6英寸晶圆
rie 等离子刻蚀案例：
sio2 / sin蚀刻
80 sccm cf4，均匀性<5％，在6英寸晶圆上
几种功率水平下的压力与蚀刻速率（如下图）：
plasmastar®系列等离子处理系统适合处理所有的材料，拥有模块化腔室和电极配置，可满足不同的等离子工艺和基片尺寸。占地面积小，触摸屏计算机控制，多级程序控制和组件控制，操作简单。用于研究、工艺开发和批量生产，可轻松集成到自动化生产线和系统中。
腔室/电极
plasmastar®模块化腔室和电极组件是该系统的*功能。腔室材料是硬质阳极氧化铝，耐腐蚀。有几种不同的电极设计，包括用于反应离子刻蚀（rie）和平面处理的水冷平板电极，用于表面清洗或处理的交替托盘电极，用于小化离子损伤的下游电极，和用于普通的圆柱形等离子体处理的笼式电极。
标配圆柱形“桶”式电极
用于光刻胶剥离和各向同性刻蚀
rie电极（可选配）
用于各向异性蚀刻的水冷电极
隔板电极（可选配）
用于各向同性蚀刻，标配2块电极
等离子体源
该系统可选配lf（khz）或13.56（mhz）射频电源以及自动匹配网络。
真空泵系统
该系统配机械泵或带罗茨鼓风机的机械泵。根据所需的真空处理水平，可提供不同尺寸大小的真空泵。真空泵配有腐蚀性泵油（惰性泵油），适用于氧气或其他腐蚀性化学应用。流量控制器（mfc）的气体管路是标配。下游压力控制器是选配。
电脑控制
触摸屏电脑控制，提供无线程序存储，多步骤工艺简单易存，易于编程，实时显示工艺条件。工艺处理可用条形码读取（选配）。
其中较典型的等离子处理工艺包括：
▪ 等离子预处理
▪ 光刻胶去胶
▪ 表面处理
▪ 各向异性和各向同性蚀刻
▪ 故障分析应用
▪ 材料改性
▪ 封装清洗
▪ 钝化层刻蚀
▪ 聚酰胺刻蚀
▪ 促进粘合
▪ 生物医学应用
▪ 聚合反应
▪ 混合清洗
▪ 预键合清洗
LYZGS高精度直流高压发生器面向原先老客户免费升级
遵义大曲酱香型白酒 - 酒精度和酸酯总量的測定
BOD快速测定仪测量迅速
自吸排污泵常见故障排除方法
风琴式防护罩的设计参数
MC方案｜RIE / ICP干法蚀刻工艺案例
高温锅炉机房管道保温工程施工队
行星减速机机油封有什么作用
意大利康茂盛CAMOZZI小型机控阀（柱轴式）
真空干燥箱的安装与调试
DX40-160L低温试验箱使用说明
LYZGS全自动直流发生器现场使用很便捷
电子感应网红门是什么,电子感应网红门简介
美国DYTRAN压力传感器系列产品有哪些
PQ340偏心半球阀的设计
膜分离法是镀金废水回收处理的主要方向
织物起球仪有几种类型
如何正确定期更换恩平自动喷码机过滤器
德国ESSER安舍809041.01控制单元应用于消防系统
废气喷淋塔工作原理及填料选用