莱宝真空泵在半导体行业中的使用说明
莱宝真空泵是单极油封旋转叶片泵。 泵本身具有止回油阀，气镇阀（可选），出口过滤器，回油管路和油冷却回路。 泵由直接法兰电机驱动。
安装在莱宝真空泵体内的偏心转子具有三个叶片，这些叶片将泵分成三个隔室，每个隔室的容积会随着转子的旋转而周期性地变化。
当转子旋转时，真空腔的进气部分的体积扩大，并且气体从进气口被吸入，气体通过空气过滤器元件，并且打开的止回阀进入腔泵。 随着转子的进一步旋转，叶片将泵腔部分与吸入口分开。 泵腔的体积减小，气体被压缩。 气体以略高于大气压的压力通过排气阀从泵腔中排出。
当泵注入泵腔时，油用于密封，润滑和冷却泵。 由于转向，压缩气体夹带的油在油箱中。 然后在出口油雾分离器中将其*过滤。 结果，废气中的油含量下降到可见水平以下。
莱宝真空泵真空设备在所有半导体生产过程中都发挥着极其重要的作用。 对于特殊的生产要求，必须选择合适的真空设备。
在过去的几年中，为了*半导体行业的需求，我们缩短了产品开发周期，并更快地推出了新产品，从而大大提高了我们的服务质量。
莱宝真空泵需要在真空下运行的分析仪器行业是真空设备市场中的供应商之一。 这个市场包括各种设计的平面分析仪器，质谱仪，电子显微镜和氦气检漏仪系列。
我们的产品种类繁多，适用于实验室研发和*简单的桌面操作。 一些关键性能参数显示了莱宝真空泵，测量设备和部件的工作能力，紧凑的结构设计，*的技术水平和良好的稳定性能。
上海振畅机电科技有限公司
地址：宝山区月罗公路2120号
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