随着半导体行业的不断发展,相应的加工检测设备的性能必须提高,瑞邦精控在高精度应用领域也拥有丰富的经验,经过多年的行业技术沉淀之后,为大家带来一款超精密平面式气浮运动台。采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术,提高精度的同时,也提供了动态性能。广泛应用于半导体加工、检测,微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。
平面式气浮运动台才之所以能够得到企业的认可,是因为它具有着纳米级别的跳动,而且还拥有着高速度的稳定性,同时还可以有效提高定位的精度,所以在使用的过程中非常适合于目前的高精度的应用,在结构上有效把工作台面降低,可以有效降低工作点的高度,减少误差影响。在使用过程中可以有效体现出高刚度,而且还能够带来更好的承重效果,所以在各个应用上都可以使用。
为什么在众多的精密设备中,有许多人会认可平面式气浮运动台,是因为采用碳化硅陶瓷气浮导轨,超性能精度;速度1m/s,快速的整定时间;双驱龙门结构,承载能力强;可选光栅或激光干涉仪位置反馈;定位精度±0.15μm,重复定位精度±75nm;优化线缆管理系统;根据需求可定制。产品的可靠性在整个使用的过程中都不至于会出现问题,相信伴随着技术逐渐的提升,在未来一段时间内,这种设备也逐渐会被大家认可。
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