UV-LED光源系列的产品介绍

点照射通用 awill-v
它是使用 uv 固化粘合剂粘合光学部件和微型部件的理想选择。它是一款轻巧紧凑的型号,配备通信功能,并以安装在设备中为前提进行设计。照射头可连接4ch,使用分支箱最多可点亮16个led。此外,通过更换端透镜,可以有效地用紫外线照射必要的区域。
用于晶圆外围器件曝光的ew01s
用于g线和i线光刻胶晶圆外围曝光的uv-led光源。它可以很容易地安装在新设备中,也可以用目前使用的紫外灯光源代替。uv-led的安装通过降低功耗,减少环境影响,延长光源寿命以及消除对任何机械消耗件的需求,极大地降低了客户的运行成本。
晶圆边缘曝光用(高输出型)ew04s
用于 g 线和 i 线抗蚀剂兼容晶圆边缘曝光的 uv-led 光源。特的光学设计实现了 7,000 mw/cm² 或更高的高输出。适用于加工时间长的厚膜抗蚀剂加工。此外,可以大大缩短曝光处理时间,大大有助于增加处理的晶片数量

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