气质联用仪检测洁净室内空气分析
由于现在电子产品越来越精密，因此不仅仅是洁净室中的无机微粒，而且包括室内建筑材料，仪器制造设备，以及源自人体的有机物成分都纳入了监控指标。
洁净室中常用甲氧基丙酮, 二氯氟甲烷和醋酸作为溶剂。二甲基硅低聚物（n = 5）是洁净室施工过程中使用的填隙料的挥发性成分之一。
岛津气相色谱质谱联用仪
gcms将气相色谱和质谱结合起来，可以地测定出这个物质是什么（定性）以及有多少（定量）。它通常用在不用应用中的痕量成分分析中，包括环境，电子设备和半导体，化学，药品，食品，残留农药以及生物化学等。
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