日本toray-eng东丽半导体以及液晶和电子元件的相关应用介绍
日本toray-eng东丽半导体以及液晶和电子元件
ms-500，lc-450a，lc-450d，lc-860
氧气表ms-500
多可以同时测量8个点浓度范围从ppm到100％均可显示。非常适合安装在半导体制造设备，真空设备等上。传感器是直接插入型（用于真空16/25/40的nw法兰）特殊涂层应用于高度耐用的传感器，以进一步提高耐用性。ms-500设备规格测量原理氧化锆轻型电池
形状分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式）
显示方式4位数字显示（密度显示）
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0大气压
自动范围
重复性在±0.5％fs 0-1％范围内或更高
±1％fs或以下或±
0.1ppm范围内0-1％小于0-1ppm，大于atm范围不在保证的浓度范围内
测量点数1-8
样气条件压力10-3至200 kpa（压力）
流量0.5-5,000 ml / min或0 ml / min（自然扩散状态的测量）
湿度露点低于环境温度
温度0-100℃
其他不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气大气层
记录仪输出仅变速箱输出
变速箱输出rs-232c
报警输出没有
热身时间6分钟以内
尺寸ms-500（控制器）92（w）x 44（h）x 120（d）（不包括突起）
ms-510（转换器）100（w）x 40（h）x 88（d）（不包括突起）
传感器单元sd16nw总长100 mm（感应部分φ11×39，主体部分φ40×51）
sd25nw总长100mm（感应部分φ11×42，主体部分φ40×48）
sd40nw总长100 mm（感应部分φ11×41，主体部分φ40×49）
大众ms-500（控制器）约0.6kg
ms-510（转换器）约0.5kg
传感器单元sd16nw约0.2kg
sd25nw约0.2kg
sd40nw约0.35kg
外部连接真空法兰之一（nw16、25、40）
使用电源24vdc±10％
氧气计lc-450a，lc-450d
可以显示多种浓度，从在多种浓度下测量的ppm水平到100％。改进的传感器耐用性
氧气传感器经过特殊处理，以提高其耐用性。交流宽电源ac100-240vac（lc-450a）
* lc-450d由24v dc驱动紧凑且易于安装
深度比我们的传统型号还要短，并且不会占用太多空间。符合rohs的产品ce标志自我声明产品
en61010-1：2002，en61326：+ a3：2003lc-450a设备规格测量原理氧化锆轻型电池
形状桌面型/面板安装型
显示方式4位数字显示（密度显示）
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0atm自动范围
重复性在±1％fs 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围
取样方式内置泵的连续吸入型
样气条件压力加压30 kpa以下
流量1,000-2,000毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气大气层
记录仪
输出氧气浓度输出在4-20ma和0-20ma之间切换（可选0-10v）绝缘，负载电阻550ω或更小
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出rs-232c
报警输出失败（设备错误）1分非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作）
alm（浓度警报）2点（h / l）非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
发生警报时触点闭合（可以更改接点操作）
rdy（预热信号）1分非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下无电压触点的小开关容量为12v或更高，并且无法承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出2分非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下
热身时间5分钟以内
尺寸身体210（w）x 134（h）x 300（d）mm（不包括突起）
大众约6kg
气体
连接口进口rc1 / 4
旁路输出rc1 / 4
出口rc1 / 4
使用电源100-240vac，50va（稳定：35va）50hz / 60hz
lc-450d设备规格测量原理氧化锆轻型电池
形状桌面型/面板安装型
显示方式4位数字显示（密度显示）
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0atm自动范围
重复性在±1％fs 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围
取样方式内置泵的连续吸入型
样气条件压力加压30 kpa以下
流量〜1,500l /分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气大气层
记录仪
输出氧气浓度输出0-10vdc，绝缘，负载电阻600kω或更高
（选件：4-20madc，绝缘，负载电阻550ω或更低）
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出rs-232c
报警输出失败（设备错误）1分非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作）
alm（浓度警报）2点（l / ll）非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
发生警报时触点闭合（可以更改接点操作）
rdy（预热信号）1分非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
在预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）非电压触点的小开关容量为12v或20ma或更高，并且无法承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出2分非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下
热身时间5分钟以内
尺寸身体240（w）x 134（h）x 210（d）mm（不包括突起）
大众约5kg
气体
连接口进口rc1 / 8
旁路输出rc1 / 8
出口rc1 / 8
使用电源24vdc±10％，1.25a（30va，稳态）
氧气计lc-860
低浓度测量
可以测量ppb到100％操作简便
按功能可轻松操作吹扫功能
比较气体更稳定，测量更惊鹊（仅适用于具有吹扫功能的规格）高可靠性传感器传感器
内部还可以进行防劣化处理（可选）lc-860设备规格测量原理氧化锆轻型电池
形状桌面型/面板安装型
显示方式6位数字显示（密度显示）
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0大气压
自动/固定范围
重复性
氧气浓度在±1％fs之内且小于1ppm和0-1ppm，大气压范围超出保证的浓度范围
取样方式内置泵的连续吸入型
样气条件压力加压30 kpa以下
流量〜1,500ml /分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气大气层
记录仪
输出氧气浓度输出4-20ma / 0-10v 4-20ma
：绝缘，负载电阻为600ω或更低
0-10v：绝缘，负载电阻为500ω或更高
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围0-100％，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm，0-1ppm，10-20-10-0 或自动/固定范围的任意4个范围
变速箱输出rs-232c
报警输出失败（设备错误）1分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.1a或更小
设备异常导致触点闭合（可以更改接点操作）
alm（浓度警报）2分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.1a或更小
发生警报时，触点闭合（可以更改触点操作）
rdy（预热信号）1分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.5a或更小
预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）无电压触点的小开关容量为12v或更高，并且不能承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出3分非电压接点，接点容量24vdc / ac以下，0.1a以下
热身时间20分钟以内
尺寸身体288（w）x 144（h）x 400（d）mm（不包括突起）
大众约10kg
气体
连接口进口rc1 / 8
旁路输出rc1 / 8
出口rc1 / 4
使用电源100-120vac±10％200va 50hz / 60hz的
日本toray-eng东丽半导体以及液晶和电子元件
电除配件粉尘层厚度对剥离率与二次扬尘的影响与过程原理
上海鹰牌衡器：使用电子地磅需注意的问题
激光设备要怎么保养
压力调节阀维护方法
关于数控立车的这2大使用环境一定要知道
日本toray-eng东丽半导体以及液晶和电子元件的相关应用介绍
我国数控机床实现了*国产化
氮气发生装置的人性化设计和优点是怎样的
RTZ-B燃气调压器之产品特点及其维护与维修
就让我们了解一下如何做好防火涂料的基层处理吧！
地埋式一体化污水处理设备应用介绍
输送线动力滚筒称重机特点
如何用滤膜法测细菌总数（集菌仪）
RS485总线常识
管道铣刀机器人的主要特点你知道有哪些吗？
气动搪玻璃放料阀技术参数和特点
ET8691微电脑余氯-总氯-酸度-需酸量-尿素浓度测定仪
药物分析中的高效液相色谱
PZ941H电动排渣闸阀的结构
S35750不锈钢圆棒的精准切割
ms-500，lc-450a，lc-450d，lc-860
氧气表ms-500
多可以同时测量8个点浓度范围从ppm到100％均可显示。非常适合安装在半导体制造设备，真空设备等上。传感器是直接插入型（用于真空16/25/40的nw法兰）特殊涂层应用于高度耐用的传感器，以进一步提高耐用性。ms-500设备规格测量原理氧化锆轻型电池
形状分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式）
显示方式4位数字显示（密度显示）
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0大气压
自动范围
重复性在±0.5％fs 0-1％范围内或更高
±1％fs或以下或±
0.1ppm范围内0-1％小于0-1ppm，大于atm范围不在保证的浓度范围内
测量点数1-8
样气条件压力10-3至200 kpa（压力）
流量0.5-5,000 ml / min或0 ml / min（自然扩散状态的测量）
湿度露点低于环境温度
温度0-100℃
其他不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气大气层
记录仪输出仅变速箱输出
变速箱输出rs-232c
报警输出没有
热身时间6分钟以内
尺寸ms-500（控制器）92（w）x 44（h）x 120（d）（不包括突起）
ms-510（转换器）100（w）x 40（h）x 88（d）（不包括突起）
传感器单元sd16nw总长100 mm（感应部分φ11×39，主体部分φ40×51）
sd25nw总长100mm（感应部分φ11×42，主体部分φ40×48）
sd40nw总长100 mm（感应部分φ11×41，主体部分φ40×49）
大众ms-500（控制器）约0.6kg
ms-510（转换器）约0.5kg
传感器单元sd16nw约0.2kg
sd25nw约0.2kg
sd40nw约0.35kg
外部连接真空法兰之一（nw16、25、40）
使用电源24vdc±10％
氧气计lc-450a，lc-450d
可以显示多种浓度，从在多种浓度下测量的ppm水平到100％。改进的传感器耐用性
氧气传感器经过特殊处理，以提高其耐用性。交流宽电源ac100-240vac（lc-450a）
* lc-450d由24v dc驱动紧凑且易于安装
深度比我们的传统型号还要短，并且不会占用太多空间。符合rohs的产品ce标志自我声明产品
en61010-1：2002，en61326：+ a3：2003lc-450a设备规格测量原理氧化锆轻型电池
形状桌面型/面板安装型
显示方式4位数字显示（密度显示）
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0atm自动范围
重复性在±1％fs 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围
取样方式内置泵的连续吸入型
样气条件压力加压30 kpa以下
流量1,000-2,000毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气大气层
记录仪
输出氧气浓度输出在4-20ma和0-20ma之间切换（可选0-10v）绝缘，负载电阻550ω或更小
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出rs-232c
报警输出失败（设备错误）1分非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作）
alm（浓度警报）2点（h / l）非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
发生警报时触点闭合（可以更改接点操作）
rdy（预热信号）1分非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下无电压触点的小开关容量为12v或更高，并且无法承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出2分非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下
热身时间5分钟以内
尺寸身体210（w）x 134（h）x 300（d）mm（不包括突起）
大众约6kg
气体
连接口进口rc1 / 4
旁路输出rc1 / 4
出口rc1 / 4
使用电源100-240vac，50va（稳定：35va）50hz / 60hz
lc-450d设备规格测量原理氧化锆轻型电池
形状桌面型/面板安装型
显示方式4位数字显示（密度显示）
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0atm自动范围
重复性在±1％fs 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围
取样方式内置泵的连续吸入型
样气条件压力加压30 kpa以下
流量〜1,500l /分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气大气层
记录仪
输出氧气浓度输出0-10vdc，绝缘，负载电阻600kω或更高
（选件：4-20madc，绝缘，负载电阻550ω或更低）
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出rs-232c
报警输出失败（设备错误）1分非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作）
alm（浓度警报）2点（l / ll）非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
发生警报时触点闭合（可以更改接点操作）
rdy（预热信号）1分非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
在预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）非电压触点的小开关容量为12v或20ma或更高，并且无法承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出2分非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下
热身时间5分钟以内
尺寸身体240（w）x 134（h）x 210（d）mm（不包括突起）
大众约5kg
气体
连接口进口rc1 / 8
旁路输出rc1 / 8
出口rc1 / 8
使用电源24vdc±10％，1.25a（30va，稳态）
氧气计lc-860
低浓度测量
可以测量ppb到100％操作简便
按功能可轻松操作吹扫功能
比较气体更稳定，测量更惊鹊（仅适用于具有吹扫功能的规格）高可靠性传感器传感器
内部还可以进行防劣化处理（可选）lc-860设备规格测量原理氧化锆轻型电池
形状桌面型/面板安装型
显示方式6位数字显示（密度显示）
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0大气压
自动/固定范围
重复性
氧气浓度在±1％fs之内且小于1ppm和0-1ppm，大气压范围超出保证的浓度范围
取样方式内置泵的连续吸入型
样气条件压力加压30 kpa以下
流量〜1,500ml /分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气大气层
记录仪
输出氧气浓度输出4-20ma / 0-10v 4-20ma
：绝缘，负载电阻为600ω或更低
0-10v：绝缘，负载电阻为500ω或更高
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围0-100％，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm，0-1ppm，10-20-10-0 或自动/固定范围的任意4个范围
变速箱输出rs-232c
报警输出失败（设备错误）1分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.1a或更小
设备异常导致触点闭合（可以更改接点操作）
alm（浓度警报）2分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.1a或更小
发生警报时，触点闭合（可以更改触点操作）
rdy（预热信号）1分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.5a或更小
预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）无电压触点的小开关容量为12v或更高，并且不能承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出3分非电压接点，接点容量24vdc / ac以下，0.1a以下
热身时间20分钟以内
尺寸身体288（w）x 144（h）x 400（d）mm（不包括突起）
大众约10kg
气体
连接口进口rc1 / 8
旁路输出rc1 / 8
出口rc1 / 4
使用电源100-120vac±10％200va 50hz / 60hz的
日本toray-eng东丽半导体以及液晶和电子元件
电除配件粉尘层厚度对剥离率与二次扬尘的影响与过程原理
上海鹰牌衡器：使用电子地磅需注意的问题
激光设备要怎么保养
压力调节阀维护方法
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日本toray-eng东丽半导体以及液晶和电子元件的相关应用介绍
我国数控机床实现了*国产化
氮气发生装置的人性化设计和优点是怎样的
RTZ-B燃气调压器之产品特点及其维护与维修
就让我们了解一下如何做好防火涂料的基层处理吧！
地埋式一体化污水处理设备应用介绍
输送线动力滚筒称重机特点
如何用滤膜法测细菌总数（集菌仪）
RS485总线常识
管道铣刀机器人的主要特点你知道有哪些吗？
气动搪玻璃放料阀技术参数和特点
ET8691微电脑余氯-总氯-酸度-需酸量-尿素浓度测定仪
药物分析中的高效液相色谱
PZ941H电动排渣闸阀的结构
S35750不锈钢圆棒的精准切割