日本ulvac cfb-600f风冷复合分子泵一、产品简介
cfb-f系列风冷复合分子泵的性能与复合分子泵一样,适用于没有水源且环境温度不高的地方,或经常移动的排气机组等。
日本ulvac cfb-600f风冷复合分子泵二、产品特点
复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应;由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和捕油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。
日本ulvac cfb-600f风冷复合分子泵三、主要性能指标
型号
cfb-600f
订货号
3163
3164
进气口法兰
—
lf200
cf200
排气口法兰
—
kf40
抽气速率
l/s
600
压缩比n2/h2
—
1×109/1×104
极限压强
pa
5×10-7
8×10-8
电机转速
rpm
24000
启动时间
min
<5
振动值
μm
≤0.1
前极泵
l/s
4-8
冷却方式
—
风冷(环境温度<37℃)
泵体烘烤温度
℃
<120
加热器功率
w
<550
加热器输入电压
v
ac220
安装方向
—
垂直±5°
重量
kg
~29
四、特性曲线及安装尺寸
cfb系列风冷复合分子泵安装尺寸表
型号规格
cfb-600f
高真空法兰
lf160
cf150
d1
ф180
ф202
d2
ф236
ф236
d3
□45.7
□145.7
l1
128
128
l2
137
137
h1
467
467
h2
70
70
h3
178.5
178.5
h4
151
151
泵腿螺钉孔
4-m8
4-m8
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