日本ULVAC CFB-3600（LF）涡轮分子泵技术资料
日本ulvac cfb-3600（lf）涡轮分子泵一、产品简介
cfb-3600涡轮分子泵的叶轮采用变截面叶齿，增强了叶片强度、减轻了转子重量，缩短了启动时间，降低了机械损耗，增加了使用寿命。
日本ulvac cfb-3600（lf）涡轮分子泵二、压缩比曲线和抽数曲图
日本ulvac cfb-3600（lf）涡轮分子泵三、主要性能指标
型号
cfb-3600
进气口法兰
—
lf400
排气口法兰
—
lf100
抽气速率
l/s
3600
压缩比n2/h2
—
1×108/5×102
极限压强
pa
2×10-6
电机转速
rpm
12600
启动时间
min
＜10
停机时间
min
＜20
振动值
μm
≤0.15
前极泵
l/s
30-70
冷却水温度
℃
≤25
泵体烘烤温度
℃
<120
冷却水流量
l/min
1
安装方向
—
垂直±5°
重量
kg
～100
四、安装尺寸图
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—
1×108/5×102
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pa
2×10-6
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min
＜10
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≤0.15
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≤25
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1
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—
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