半导体用正胶显影液 - 四甲基氢氧化铵含量、碳酸根离子的检验

t/cemia 030-2022半导体用正胶显影液范围本标准规定了半导体用正胶显影液的术语和定义、缩略语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于半导体用正胶显影液，其主要组分为通过季铵盐化合物电解制得的四甲基氢氧化铵。术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。缩略语下列缩略语适用于本文件。pfa：四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物，又称过氟烷基化物，可溶性聚四氟乙烯。分类按照四甲基氢氧化铵的含量进行分类，可分为c-a(四甲基氢氧化铵含量≥20.00%的半导体用正胶显影液)，c-b(四甲基氢氧化铵含量≤5%的半导体用正胶显影液)。要求外观无色透明液体。主要化学成分半导体用正胶显影液的主要化学成分应符合表1的规定。色度半导体用正胶显影液的色度应不大于5hazen单位(pt-co色号)。颗粒数半导体用正胶显影液的颗粒数应符合表2的规定。甲醇半导体用正胶显影液的甲醇含量应符合表3的规定。阴离子杂质含量半导体用正胶显影液的阴离子杂质含量应符合表4的规定。金属杂质含量半导体用正胶显影液的金属杂质含量应符合表5的规定。表面张力c-b的表面张力指标管控可由供应商与客户协商决定。检验方法四甲基氢氧化铵含量按 sj/t 11636 的规定进行。sj/t 11636-2016 电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法碳酸根离子按 sj/t 11635 的规定进行。sj/t 11635-2016 电子工业用显影液中碳酸根离子的测定 自动电位滴定法京都电子kem 高精密度自动电位滴定仪 at-710s

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