四探针电阻率测试方法

四探针电阻率/方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ito导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些薄层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的：“小游移四探针头”，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配hq-710e数据处理器，测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均匀度，给测量带来很大方便。2、测试仪结构及工作原理测试仪主机由主机板、电源板、前面板、后背板、机箱组成。电压表、电流表、电流调节电位器、恒流源开关及各种选择开关均装在前面板上（见图2）。后背板上只装有电源插座、电源开关、四探针头连接插座、数据处理器连接插座及保险管（见图3）。机箱底座上安装了主机板及电源板，相互间均通过接插件联接。仪器的工作原理如图1所示：测试仪的基本原理仍然是恒流源给探针头（1、4探针）提供稳定的测量电流i（由dvm1监测），探针头（2、3）探针测取电位差v（由dvm2测量），由下式即可计算出材料的电阻率：厚度小于4倍探针间距的样片均可按下式计算

---

介绍一下方形横流式冷却塔
气动夹管阀实用性强的体现
9657-10 9675 电流钳 L2004连接线 日本日置HIOKI
二维液相色谱法的技术功能
科瑞是怎样严格筛选检测供应商材料来制造纯化水设备
四探针电阻率测试方法
西格马-超高温电阻炉四大优势
离子交换树脂能够高效的重复使用
PALL颇尔Aerolith®S滤芯产品信息描述
ELR 1-SC-24DC/600AC-50 - 固态接触器 1032926 技术资料
淮北市多举措加强农业农村生态环境保护助力改善农村人居环境
Busch真空泵R5 RB系列特点及工作运转介绍
渤海钻探成功研制DML钻修机监测仪
科学合理的保养高低温交变试验箱
耐火云母带的种类介绍
智能精密露点仪的测试方法
垂直水平振动测试台
COMBI 5000便携式土壤pH计可以帮助用户快速、准确地测量土壤酸碱度
CAS No: 72692-06-9全程技术服务保障
剥离力试验机和剥离强度试验机介绍