数控机床维修常用诊断仪器（八）激光干涉仪
激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（位置和几何）精度校正。它与世界上其他激光干涉仪一样，可*按标准测量各项参数，如线形位量精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平行度及平面度等。其次，它还具有其他选择功能，如自动螺距误差补偿（适用大多数数控系统），机床动态特性测量与评估，回转坐标分度精度标定，触发脉冲输入输出功能等，泊头巨人重工机械有限公司是一家专业生产、立车、数控立车、数控龙门铣床、龙门加工中心、数控落地镗铣床的生产厂家，对激光干涉仪的选择和应用也有一定的心得。这里以雷尼绍(renishaw)公司激光干涉仪为例，介绍其功能：
①自动螺距误差补偿。激光干涉仪不仅能自动测量机器的位置精度，而且还能通过rs232接口使计算机和数控系统实现通信，对误差进行自动补偿，它比通常的手工补偿方法节省了大量时间，同时可限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到精度。
②回转坐标精度标定。回转坐标分度精度标定可对数控转台在任意角度位置，以任意测量间隔进行全自动测量及补偿，其精度可达±1”。
③机床动态特性测试与评估。利用renishaw动态特性测量与软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(fft)，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性（低速爬行）分析等等，从而帮助用户对机器故障源进行分析。
④触发脉冲输入输出功能。利用触发脉冲输入，可实现外部控制激光干涉仪记录数据，从而可实现类似于激光丝杠动态精度检查仪的功能或机床传动链精度检查功能。
利用触发脉冲输出，可用激光干涉仪定时或定距发出脉冲，从而实现类似于激光光刻机的功能。
⑤可选ab正交信号输出。ab正交信号是标准光栅信号，由于renishaw激光干涉仪能输出该信号，因而可将该激光干涉仪作为长度基准用于其他场合，如动态光刻等。
⑥双驱动同步校准系统。在某些机器中，某一轴线运动由双驱动和双反馈系统控制（如龙门铣床和大型龙门移动的机器等），在这种情况下，雷尼绍双轴校准软件可在一台计算机上连接并控制两个接口卡，提供了同步自动采集两平行轴数据的能力。
⑦其他用户接口装置。可用雷尼绍公司提供的特殊接口软件，对于现有某些品牌的电子水平仪或数字指示仪器的用户，配合雷尼绍激光干涉仪校准软件，实现直线度、平面度及垂直度等几何精度的榆测。
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