精密运动台有直线运动、旋转运动及倾角运动等,这些都是实现精密定位不可分割的一部分,单从直线运动来说,又分滚珠丝杆结构、直驱线轨结构、直驱气浮结构、液压结构及磁悬浮结构等。不同的结构分别有不同的精度。现阶段市场上应用最多的是滚珠丝杆结构和直驱线轨结构,相对比较精度会低些,那气浮结构有哪些优势呢?
气浮结构是解决超精密应用中的一部分,其结构由高性能直线电机驱动,光栅尺和气浮导轨等主要部件组成。无铁芯直线电机特点是无齿槽效应,高动态性能及电流噪音小等;配置低热膨胀系数的光栅反馈;气浮导轨接近零的摩擦系数,平稳无摩擦运动,搭配国际上*的控制系统,是精密定位台整体的稳定性比较出色,定位的精度是在亚微米级别,速度可以达到2m/s,加速度可达到2g,所以精密定位平台,尤其是气浮运动台已经开始得到各科研院所及企业的认可。
它的结构可以完成满足于较多的应用,在目前的精密加工和测试中,这是理想的选择,可以有效保证高定位精度,对于激光加工行业,还能够保证理想的切割直线可以快速的达到响应的作用,是整个系统提升精度性能的重要组成部分。
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