德国vat 59.0系列泄露阀可精确控制极小的气体流量(1· 10 -10 mbar ls -1至 500 mbar ls -1)。凭借其全金属设计,它非常适合 uhv 和uhv 过程中的气体计量要求。
德国vat 59.0系列泄露阀技术参数如下:
尺码 dn 16 (⅝)
执行器手动的方向盘
带步进电机的集成或可拆卸压力控制器
机身材质 不锈钢
标准法兰 cf-r
密封技术 隔膜“硬对硬”密封
泄漏率阀体< 1 × 10 - 1 0 毫巴 ls - 1
阀座< 1 × 10 -10 毫巴 ls - 1
压力范围 uhv 至 10 bar (abs)
不同的压力开业时≤ 10 巴
死体积角阀:座椅侧
侧端口2.7 厘米3
1.1 厘米3
内联阀:座椅侧
侧端口0.98 厘米3
1.01 厘米3
循环直到第一次服务 20 000
烘烤温度阀体≤ 300 °c
手动执行器≤ 300 °c
带步进电机的控制器≤ 50 °c
加热和冷却速率 ≤ 60 °c h -1
材料阀体aisi 660 (1.4943), aisi 316l (1.4404)
隔膜aisi 301 (1.4310),镀金
安装位置 任何
阀位指示 视觉(机械)
电导(分子流) 0.05磅-1
可调气体流量 1 × 10 -10 mbar ls -1至 500 mbar ls -1
重量带手动执行器0.94 千克/2.07 磅
带受控步进电机2.5 千克/5.5 磅
德国vat 59.0系列泄露阀保证了可重复的精确气体流量设置,增强了过程控制能力。它还在整个使用寿命期间提供可靠、密封的关闭,没有任何密封疲劳的风险。
全金属设计——高级不锈钢阀体和镀金不锈钢膜闸门密封件——使 59.0 还具有高抗腐蚀性和腐蚀性气体的能力。
59.0 已经在各种工艺条件下安装在数以千计的苛刻应用中,证明了其出色的可靠性。它已成为 uhv 和 xhv 应用中可变泄漏阀的标准解决方案。
关键词:步进电机 压力控制器 控制器 进口电磁阀 传感器
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