光学检漏仪的原理及检测优势
光学检漏仪的原理
当各种气体排出时，每种气体都会发出自己*的光。通过测量这些光的每个波长的光谱强度，可以测量各种气体的分压。由该分压计算出各气体的泄漏量。
由于它可以测量光，因此即使是低真空也可以轻松测量。
（右图是各种气体的发射颜色示例。）
光学检漏仪的检测优势
1.无需昂贵且耗竭的氦气
・ 可使用氩气或气氛（氮气）进行泄漏测试
2.检查时间可以缩短和简化
・可从低真空区域（约50pa）进行测试
・气体逸出迅速，可缩短检查周期
・可一键更换搜索气体⇒使用大气中的氮气检查泄漏和总泄漏量后的氩气可以通过切换到该模式来识别泄漏位置。
3.无需高级技能
・由于没有吸收或渗透到弹性体中，因此可以进行可靠的泄漏检测。
4.可以准确量化泄漏量
・使用标准电导元件达到大气压空气（氮气）的泄漏标准。
・可以将空气校准值转换为氩气等
光学检漏仪的检测示例下图是使用已知电导的元件在大气压空气中进行灵敏度校准后，确认使用氩气测量泄漏量的准确度的图表。通过在大气中进行一次校准，可以精确测量高达 10-8 pa·m3/s 的气体类型，例如氮气和氩气。
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