德国 ISEL-WOQ 光学测量丨抄数系统

woq系统是通过一个聚光镜激光传感器,配合由cnc电脑控制的主机,对测量工件进行高速测量。由于聚光镜激光器的优越性能,基本上不受工件的表面性质影响,包括工件的反光度。可以测量至85度的垂直面,配用不同的规格的物镜,可以达至不同的测量精度、重复性及测量行程。
woq sysrem ⅰ
x、y、z轴行程:150×150×120mm
分解度:0.00625mm
定位精度 :0.01mm
重复精度 :2.5um
定位速度 :4m/minwoq system ⅱ
x、y、z 轴行程:350×250×120mm
聚光物镜规格 fl16 fl25 fl50 fl75 fl100 fl125 fl150
绝对精度(um) 2 3 6 10 15 20 25
重复精度(um) 0.1 0.4 1 2 4 8 10
测定行程(mm) 0.5 1.8 8 18 35 45 70
工作距离(mm) 9 15 35 60 70 240 110

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