真空泵机组主泵罗茨泵的选择主要考虑其抽速的大小,由于vpd设备对达到工作真空度所需要抽气时间的要求并不很严格,真空泵机组所以主泵抽速的选择范围很宽.一般是根据高真空阶段真空罐内漏、放气总量除以最终工作真空度而得到.实践中.一般可按主泵的额定抽速(l/s)为真空罐容积(l)的1%左右估算预选。
因为真空罐的冷态极限真空度(1pa)和最终工作真空度(10pa)要求并不高,所以选用罗茨泵配 前级泵的真空系统是可以的.不过近年来vpd设备更多地采用了双级罗茨泵真空系统,即在主级罗茨泵和前级泵之间加装一个中间级罗茨泵,目的是进一步缩短抽气时间,提高工作真空度和降低对主泵性能的要求。主级罗茨泵与中间级罗茨泵的抽速比在(2:1)~(4:1)范围.按一般真空系统配泵规律处理即可。vpd设备所用罗茨泵的特殊之处是被抽气体中有少量煤油蒸气并且温度较高。选泵时应特别注明.使制造厂在确定罗茨泵转子间隙、选择泵内密 封材料的过程中加以专门考虑。另外.一般选用带有旁通阀的罗茨泵。
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