超高真空插板阀基本参数与连接尺寸
公称通径
dn
漏率
pa·l/s
烘烤温度
℃
平均*次数
次
流导
l/s
连接尺寸a
mm
连接法兰
标准
25 ≤1.3×10-7 ≤150（除传动装置外） ≥3000 30 55 gb/t6071
50 - 60
63 400 65
80 - 65
100 1100 70
160 3400 70
200 7300 80
250 ≥2000 12000 85 jb/t5278
320 21000 -
400 30000 110
500 51000 -
630 10200 -
800 ≥1000 - -
注：流导为分子流状态下的理论计算值，不做验收依据。
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